激光塵埃粒子計數(shù)器內(nèi)部零件測量功能分析

　　1、空氣泵和過濾器

　　空氣泵位于儀器內(nèi)部，允許儀器產(chǎn)生樣品流。空氣泵需要低噪音、小振動、產(chǎn)生的氣流穩(wěn)定。過濾器應能過濾掉大于0.3μm的顆粒，以防止從儀器排出的空氣影響清潔區(qū)域。

　　2、流量監(jiān)控

　　粉塵顆粒計數(shù)器的取樣流量一般為2.83L/min或28.3L/min，進口儀器通常標記為0.1cfm（立方英尺/分鐘）或1cfm，主要是為了方便Fed-Std-209E。

　　3、測量室

　　測量室是觀察顆粒的空間，收集的空氣通過測量室。儀器的光學系統(tǒng)使光源通過透鏡 狹縫照射測量室，以形成體積約為幾立方毫米的光敏區(qū)域。當空氣中的灰塵通過光敏區(qū)域時，一部分光能被聚光透鏡以入射光的角度（90度或70度）散射，然后投射到光電探測器上。

　　4、光探測器光電探測器是將散射光能轉換為電信號的光電轉換裝置。塵埃粒子計數(shù)器中常用的光電探測器是光電倍增管和光電二極管。

　　光電倍增管將光電子轉換成數(shù)萬次，并將其轉換成幾毫伏到幾十毫伏的電信號。它具有良好的光譜線性。 快速響應時間 小暗電流的優(yōu)點很短。當光電倍增管工作時，需要增加幾百伏的負高壓。儀器中有相應的高壓發(fā)生電路。調(diào)試或校準儀器時要注意安全。

　　5、電路系統(tǒng)

　　通過塵埃粒子計數(shù)器的光電系統(tǒng)轉換不同粒徑的粒子，并產(chǎn)生不同幅度（電壓）的電脈沖信號。粒徑越大，脈沖電壓越高。信號電壓和粒徑之間的關系也稱為轉換靈敏度。對于給定的塵埃粒子計數(shù)器，粒徑與脈沖電壓一一對應。例如，塵埃粒子計數(shù)器的轉換靈敏度對于69mv為0.3μm，對于531mv為0.5μm，對于701mv為1.0μm等，如果塵埃粒子計數(shù)器當檢測到100mv的脈沖時，其大小為顆粒當然大于0.3μm且小于0.5μm。